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深圳市森美协尔科技有限公司

探针台,激光修复机,显微镜,探针

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SHCV大功率半自动探针台
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产品: 浏览次数:387SHCV大功率半自动探针台 
品牌: semishare
单价: 1.00元/台
最小起订量: 1 台
供货总量(库存): 100 台
发货期限: 自买家付款之日起 30 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2020-09-28 09:57
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详细信息

大功率半自动探针台

型号  SHCV-6-Auto  SHCV-8-Auto  SHCV-12-Auto

外形  860mm*850mm*700mm  880mm*860mm*750mm   1300mm*920mm*920mm

重量  180KG  250KG  380KG

电力需求  AC220V,50~60HZ

Chuck  尺寸  6inch  8inch  12inch

X-Y轴行程  6*6inch  8*8inch  12*12inch

X-Y轴移动解析度  0.04um/0.1um

X-Y轴重复定位精度  ±1um

移动速度  ≥ 50 mm/sec

Z轴行程  10mm

Z轴移动解析度  0.1um

Z轴重复定位精度  ±1um

Theta角度行程  ±15°

Theta角度解析度  0.0003°

光栅尺  带光栅尺

样品固定方式  多孔真空吸附,独立分区控制

切换样品功能  样品台快速拉出

结构  同轴高压设计,镀金,电学独立悬空,可作为背电极使用

针座平台  规格  O型平台,最多可放置8个针座  O型平台,最多可放置10个针座  O型平台,最多可放置12个针座

行程&调节方式  平台可以快速升降,行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um

控制方式  手动控制盒(可选择带操纵杆)

软件控制

软件功能  wafer map的编辑

仪器的接入

数据的采集和图像化显示

数据的分析

差异数据的标定Ink mark

自定义Bin分

自动测试

通讯接口:RS232/EtherCAT/GPIB等

大功率规格  配置  大功率kelvin样品台

大功率夹具线缆

mult-pin 分流探针

大功率保护模块(针座用)

保护红外光幕,防止人员误进入工作区,触发时interlock互锁

大功率仪器连接模块

最大测试电压  10KV

最大测试电流  500A(脉冲)

光学特性  显微镜行程  2*2inch

显微镜行程  1um

放大倍数  20-4000X

CCD像素  50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)

点针规格  点针精度  10微米/2微米/0.7微米

X-Y-Z行程  12mm-12mm-12mm

漏电精度    10pA/100fA

接口形式  香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA,SHV接口

温控特性  温度范围  ﹣100~200℃  ﹣80~200℃  ﹣60~200℃

温控精度  温度分辨率 : 0.01°C

加热电源   LVDC 低压直流

最低控温速率      ±0.1°C  /小时

传感器   Pt100

制冷方式  液氮制冷

减震  主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动

可选附件  chuck快速拉出装置

显微镜倾仰装置

激光修复

探针卡夹具

光强/波长测试接口部件

加热台

高低温样品台(-80~200℃)

防震桌

射频测试

PCB板夹具

液晶热点侦测套装

屏蔽箱

卡盘镀金

运用方向  晶圆测试,功率器件测试



特点:

SiC/GaN晶圆测试  超高的测试精度

大功率晶圆测试  便捷的仪器接入

(-60~200℃)高低温Chuck  半自动测试

20~4000X光学显微放大  可升级全自动测试

功能丰富的测试软件  可升级射频测试


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