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深圳市森美协尔科技有限公司

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LCVD激光修复机
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产品: 浏览次数:343LCVD激光修复机 
品牌: semishare
单价: 1.00元/台
最小起订量: 1 台
供货总量(库存): 100 台
发货期限: 自买家付款之日起 30 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2020-09-28 09:57
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详细信息



LCVD激光修复机

型号  LCVD-G4.5  LCVD-G8.5

外形  2,500mm(宽)x2,000mm(长)x2,500 mm(高)   4,000mm(宽)x3,500mm(长)x2,500 mm(高)

重量  6.5吨左右  10.5吨左右

电力需求  380V,50Hz, 3Phase, approx. 40A Max  380V,50Hz, 3Phase, approx.60A Max

修复能力  可修复产品尺寸  长宽≤920 * 730 mm(W x D) , 厚度≤3mm  长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm

沉积材质  W,Cr,Mo,Al

沉积线路速度  5~10um/s(厚度5000 Å)

单处缺陷修复时长  定位后,修复单处缺陷时间在5s左右

工艺参数  软件可以添加任意组工艺参数

Cutting宽度  2um到50um可调

沉积宽度  3um到30um可调

沉积边缘精度  +-0.5um

沉积厚度  2000 Å ~15000Å可调

沉积线路的电阻值  <65欧姆 (宽度5um, 长度50um,厚度5000 Å)

沉积稳定性  1.清洗机清洗次数>10 times

2.棉签蘸丙酮擦拭>500次

3.强酸碱测试>1H

3.毛刷擦拭>1H

4.超声波1MHZ>1H

平台功能  Gantry结构  龙门式

X-Y-Z运动行程  920 *730*58mm(X-Y-Z)  2500 *2200*58mm(X-Y-Z)

X-Y运动速度  0~200mm/s可调

精度(最小移动量)  0.1um

Z 运动速度  0~2mm/s可调

精度(最小移动量)  0.1um

重复定位精度  +-5um

修复对位精度  0.1um

减震  主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动

照明  平台有下光源,并且能够上下光源切换,屏蔽罩内安装照明,照度达到1000lux以上。

光学特性  光路系统倍率:  50X~ 1000X

5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects

光学分辨率  0.7um

物镜切换速度  0.2~0.7s

切换镜头偏差  小于3um

聚焦  激光自动聚焦

相机  200万像素

激光特性  激光系统  DPSS激光切割系统

CW激光沉积系统

能量调节精度  0-1000 steps

0-100%

Slit 窗口调节大小  0~2.4mm

slit 窗口控制精度  1um

激光能量校准方式  自动校准

校准时间  3mins

激光能量校准精度  优于2%

激光波长  Cut Laser :IR 1064nm,GRN 532nm,UV 266nm

CVD CW laser :NUV 351nm

脉宽  < 12 ns

光斑尺度  2.0~ @50X  object  1064nm (在标准mask上测试)

扫描面能量均匀性  优于5% IR

激光寿命  Cut Laser:10亿次激发

CVD CW laser: 8000小时

修复工作模式  Scan扫描式和 Step模式

扫描路径  可任意定义路径

控制  工作模式  自动修复,实现数据的自动导入和输出,联机通讯

手动或者半自动修复

上下片  机械手或者流水线

CIM系统  有

减震  主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动

工业PC  23寸显示器&电脑:i7 处理器,1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘),8G内存,1G独立显卡,DVD-ROM

通讯接口  RS232/EtherCAT/GPIB等

安全  整机带屏蔽罩,操作人员在屏蔽罩外操作

紧急开关EMO

限位sensor,运动平台和激光系统限位互锁

Interlock报警,自动关闭系统(软件设置为可选)

应用  TFT-LCD 和 OLED Panel 布线开路和短路的修复,Mask 的缺陷修复


特点:

稳定的修复结果  功能丰富的软件

超高的修复精度  可以编辑修复形状

0.1um精度的直线电机平台  自动AOI定位

极小的损伤  可做多工位设计

1um的激光精度  自动上下片


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