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深圳市森美协尔科技有限公司

探针台,激光修复机,显微镜,探针

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TEG面板激光探针台
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产品: 浏览次数:656TEG面板激光探针台 
品牌: semishare
单价: 1000.00元/台
最小起订量: 1 台
供货总量(库存): 100 台
发货期限: 自买家付款之日起 30 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2020-09-28 09:57
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详细信息

面板激光TEG Prober

型号  LCD-70-TEG  LCD-100-TEG

外形  2500mm长*2000mm宽*2500mm高  3800mm长*2500mm宽*2500mm高

重量  约9700KG  约14200KG

电力需求  380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max

可测试液晶屏尺寸  长宽≤1600 * 1100 mm(W x D) , 厚度≤3mm  长宽≤2400 * 1400 mm(W x D) , 厚度≤3mm

平台功能  Gantry结构  龙门式

X-Y-Z轴运动行程  1600 * 1100 *58mm  2400 * 1400 *58mm

X-Y运动速度  0~400mm/s可调

X-Y精度(最小移动量)  0.1um

X-Y重复定位精度  ±5um

X-Y 轴驱动  直线电机+光栅尺

Z 运动速度  0~2mm/s可调

Z精度  0.25um

Z重复定位精度  ±1um

Z轴驱动  伺服电机+光栅尺

Z轴保护  电机保护+机械限位保护

样品台平整度  25um平整度  (检测方法:显微镜等焦面测试法)

样品台涂层  防静电涂层

样品台高低温   Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃)

光学特性  光路系统倍率:   5X ,10X ,20X,50X  Objects ,放大倍率范围50X~ 500X

聚焦  自动聚焦

CCD  200/500万像素工业相机

光源  面背光、点背光、上光源

光源亮度独立可调,面背光可选择分区控制

激光特性  激光系统  激光切割系统(2.2mj/Pluse Maximum@50Hz)

0-100%

激光波长  1064nm,532nm,355nm

光斑尺度  0.8~1.5um @100X  object

1.0~3.0um @50X  object

工作模式  One Shot/Burst/Continue

形状  可调节的矩形

探针规格  针卡  两套,可同时测试两个patten

Pitch范围:定制

探针材质:钨or铍铜等

工作模式:可以单独测试,或者两个针卡一起测试。两个针卡间的相互距离可调。

探针和TEG对位方式  坐标定位

测试过程中的二次视觉自动校准

探针和TEG的接触方式  自动接触

探针自动保护功能:机械限位,可以根据panel厚度设定限位高度,也可以按探针接触样品测试Pad时发生的形变,设备通过探针形变情况,从而确定压入量。

探针轴旋转行程  360°

探针旋转精度  0.01°

旋转重复定位精度  0.03°

探针清洁  自动清洁

清洁后视觉自动判断

探针台漏电精度(安装针卡的情况)  100fA 以内(测试标准:给针卡任意针脚加压-5V~+5V,在不吹N2的情况下,空载测试漏电流<100fA)

吹氮气N2辅助干燥(Recipe 可以设置是否开启,且测试报告体现开N2与不开N2区别)

测试能力  测试系统  两套

半导体参数测试系统 2*HRSMU+4*MPSMU+CV 测试单元等

TFT测试项目  Ion

Ioff

Vth

Mobility

Swing

Resistance测试项目  Rs

Rc

其他客户需要的项目  options

最大输送电压  +-200V

最大输送电流  +-1A

电流测试分辨率  1fA(无需前置放大器)

电压测试分辨率  0.5uV

CV 测试频率范围  1kHz~5MHz

接地单元电流宿能力  4.2A GNDU

控制  工作模式  自动测试,实现数据的自动导入和输出,联机通讯

手动或者半自动测试

上下片  机械手或者流水线

CIM系统  有

减震  主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动

工业PC  23寸显示器&电脑:i7 处理器,1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘),8G内存,1G独立显卡,DVD-ROM

通讯接口  RS232/EtherCAT/GPIB等

安全  整机带屏蔽罩,操作人员在屏蔽罩外操作

紧急开关EMO

限位sensor,运动平台和探针系统限位互锁

Interlock报警,自动关闭系统(软件设置为可选)

应用  TFT-LCD Panel TEG 探针测试,OLED Panel TEG探针测试


特点:

稳定的测试结果  超高的测试精度

超快的测试速度  mult-probe card设计

0.1um精度的直线电机平台  自动AOI定位

极小的损伤  自动上下片

1um的激光精度  自动测试


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